开学第一,沈听澜闭着眼摸到手机按掉,翻了个身,把脸埋进枕头里。枕头是家里带来的,洗过很多遍,棉布洗出了一种旧旧的软,和状元巷那张床上的味道一模一样。她把脸埋在里面又赖了片刻,然后坐起来。
宋知意从上铺探下头,头发乱得像被炮仗炸过。“早课?”
“微电子学导论。”
“几点的。”
“般。”
宋知意把脑袋缩回去,被子里传出闷闷的一声哀嚎。
沈听澜踩着拖鞋去洗漱,她挤到一个水龙头前,把牙刷塞进嘴里。薄荷味的泡沫在舌尖化开,凉的。
bJ二月的早晨没有南临那种湿漉漉的雾气,干冷,风迎面过来像有人拿砂纸在脸上轻轻蹭了一下。
她把围巾往上拉了一截,枇杷花贴在嘴角,绒绒的。法桐树还是秃的,枝丫伸向空,但树根底下那圈苔藓比昨更绿了一点。她路过的时候多看了一眼——不是特意看的,是眼睛自己飘过去的。
食堂里豆浆窗口前排着短队。打饭阿姨看见她,没等她开口就拿起一个杯子。“半糖?”沈听澜点头。阿姨把豆浆递出来,杯身温的,和上学期每早上周予安推到她手边的那杯温度一模一样。“你那个同学呢?”阿姨往她身后看了一眼,“全糖减一点那个。”沈听澜接过杯子。“他可能已经买走了。”
她端着豆浆走到老位子。周予安果然已经坐在那里了,面前放着两杯豆浆——一杯已经喝了一半,一杯还满着。满的那杯旁边搁着一个包子,白菜粉丝馅的,塑料袋被热气蒸得微微鼓起来。他在看手机,屏幕上是微纳加工平台的机时排班表,今下午一点到五点,设备号三号,光刻机。
“第一节什么课。”她把包子拿起来咬了一口。
“固体物理。”
“在哪儿。”
“教二楼。”
他把手机收起来,把自己那杯喝完的豆浆空杯扔进旁边的垃圾桶。动作和高中时把写完的草稿纸翻到下一页一模一样——不紧不慢,稳稳当当。沈听澜嚼着包子看着他。新学期第一,什么都没变。
上午的课排得很满。微电子学导论在教四楼,阶梯教室,暖气过足,窗玻璃上凝着一层水雾。
教授姓刘,五十来岁,头发灰白,话带着一点南方口音,把“载流子”念得像“再来子”。沈听澜坐在第三排靠窗,笔记本摊开,笔尖落在纸上,写得很稳。能带理论,价带,导带,禁带宽度。
下了课,她收拾好东西往外走。走廊里挤满了换教室的学生,有人抱着书跑,有人边走边啃面包,有人在打电话“你帮我占个位”。她从人群里穿过去,走到教学楼门口,周予安已经站在台阶下面了。手里拎着两杯豆浆,新的,热的。
“你什么时候买的。”
“刚才。窗口要关了。”
她接过来喝了一口。半糖。两个人往食堂走。校道上的霜化了,路面湿漉漉的,阳光从法桐树光秃秃的枝丫间漏下来,落在水渍上亮晶晶的。
“刘教授把载流子念成‘再来子’。”她。
周予安偏过头看她。“听懂了?”
“懂了。他在黑板上画能带图的时候,我想起你画的那两个人。”
周予安的嘴角翘了一下。
下午一点,微纳加工平台。这栋楼沈听澜是第一次进。和302实验室完全不同——302是乱的,暖的,李辉的白大褂挂在门边,管式炉的显示屏跳着数字,实验台上永远摊着没收拾的烧杯和镊子。
这里不一样。走廊里是白色的,墙壁是白色的,地板是灰白色的环氧树脂,走在上面没有声音。每扇门上都贴着黄色的警示标志——“当心激光”“强磁场”“请穿戴防护服”。空气里有一股淡淡的臭氧味,像复印机刚开完的那种。
周予安走在前面。他提前来踩过点,知道更衣室在哪,知道防护服挂在哪个柜子里,知道三号光刻机在走廊尽头左手边第二间。沈听澜跟在他后面,看着他推开更衣室的门,从柜子里取出两套连体防尘服。白色的,拉链从领口一直到腰,头套、口罩、鞋套,全套。他把其中一套递给她。
“穿吧。超净间,进去要换。”
沈听澜接过来。防尘服的布料滑滑的,带着一点消毒水的气味。她把外套脱了,套上连体服,拉链从腰拉到领口,头套戴上,口罩戴上,鞋套套好。穿戴整齐之后她看了看周予安。他也穿好了,白色的连体服,白色的口罩,只露出一双眼睛。那双眼睛和高中坐在她前排时一模一样,不闪不躲,在等着。
“走吧。”他,声音从口罩后面传出来,闷闷的。
三号光刻机是一台比人还高的设备。银灰色的外壳,正面是一块触摸屏,侧面连着气路和真空管路,背后是黄色的排风管道。李辉已经在里面了,同样穿着连体防尘服,正弯腰检查匀胶机的吸盘。看见他们进来,他直起身招了招手。
“来了?过来看看这个。”他指了指匀胶机旁边的培养皿。皿底躺着一片玻璃基底,表面覆着那层深灰偏黑的mxene和moF复合薄膜。寒假前最后一批敏感材料,她亲手配的溶液,亲手开的釜。
“今的活,”李辉把一张手写的工艺流程图推过来,“把这层薄膜涂上光刻胶,前烘,对准曝光,显影。把电极图案转移到薄膜上。”
沈听澜看着那张流程图。匀胶,前烘,曝光,显影。每一步旁边标注着参数——转速、时间、温度、曝光剂量。字迹是李辉的,但参数的笔迹是周予安的。瘦的,锋利的,每一个数字都写得清清楚楚。她想起寒假前他提前来踩点,大概就是那时候把这些参数一个一个记下来的。
“谁先来。”李辉问。
沈听澜伸出手。“我。”
她把培养皿放进匀胶机的吸盘里,按了吸附键,基底被稳稳吸住。光刻胶是透明的,黏稠的,她用移液枪吸取定量,滴在基底中央。合上盖子,设置转速——先低速铺开,再高速甩薄。
按下启动。匀胶机嗡呜转起来,培养皿在吸盘上高速旋转,光刻胶从中心向边缘铺开,在薄膜表面形成一层极薄的透明涂层。声音从隔音罩里传出来,闷闷的,像一只蜜蜂被关在玻璃瓶里。转速降下来,停稳。
她把培养皿取出来,胶面均匀,没有条纹,没有气泡。周予安在旁边看了一眼,点了一下头。
接下来是前烘。她把基底放进烘箱,温度一百度,时间九十秒。烘箱的显示屏上数字开始跳动,从室温一点一点往上爬。她站在那里看着那个数字,和第一次跑升温曲线时看着管式炉的显示屏一模一样。九十秒到了。烘箱发出轻轻的一声“滴”。她把基底取出来,胶面从透明变成了浅浅的琥珀色,凑近了能闻到一股极淡的溶剂味。
光刻机已经预热好了。周予安把掩模版装进光路里——那是一块石英玻璃,上面用铬层刻着电极图案,叉指状的,像两只手的手指交叉在一起。他在触摸屏上设好曝光剂量,转过身看着她。
“放上去吧。”
沈听澜把基底放进光刻机的样品台上,对准掩模版的位置。显微镜的视野里,掩模版的图案和基底表面的薄膜重叠在一起,边缘对齐。
她旋动微调旋钮,左一点,右一点,图案稳稳落进预定区域。锁紧样品台。按下曝光键。紫外光从掩模版上方照射下来,穿过透明的石英,穿过铬层镂空的图案,打在光刻胶上。被光照到的部分发生化学反应,变成可溶于显影液的状态。光刻机的快门发出一声极轻的咔嗒。曝光完成。
她把基底取出来放进显影液里。透明的液体里,被曝光的光刻胶开始溶解,极缓慢地,从图案的边缘向中心蚕食。她用镊子夹住基底边缘轻轻晃动,溶解的部分像细的云絮从胶面上剥离,在显影液里散开。
时间到,她把基底夹出来放进定影液里,光刻胶的溶解停了,被曝光的区域完全去除,露出下面深灰偏黑的薄膜。没被曝光的区域保留着琥珀色的光刻胶,把薄膜保护在下面。叉指电极的图案完整地转移到了薄膜表面。
李辉凑过来,隔着显微镜看了一眼。然后他直起身,口罩上面那双眼睛弯了起来。
“成了。第一次光刻,图案完整,边缘清晰。”他把手套脱下来,在沈听澜肩膀上拍了一下,“你们俩,生就是干这个的。”
沈听澜把基底放进培养皿里盖好。叉指电极在薄膜表面安静地亮着,深灰色的敏感材料,琥珀色的光刻胶保护层,银灰色的电极图案。
她看着那片比指甲盖还的玻璃片,忽然想起高考完那在三中考场走廊里,纷纷扬扬的纸雪从楼上飘下来,落在香樟树冠上,落在水磨石地板上。那时候她以为“结束”是一种很巨大的东西。现在她知道,结束不是。开始才是。
走出微纳加工平台的时候,外面的已经暗了。法桐树光秃秃的枝丫在晚风里轻轻摇晃,树根底下那圈苔藓在路灯的光里绿得发亮。
“饿了。”她。
“食堂还有麻辣香锅。”
“去。”
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